場發(fā)射電鏡的電子發(fā)射源為冷場，物鏡為半浸沒式，可利用二次電子、背散射電子信號(hào)成像來觀察樣品表面形態(tài)。在高加速電壓下，二次電子圖像分辨率為1 nm，背散射電子圖像分辨率3.0 nm。在低加速電壓下，二次電子圖像分辨率為2 nm，有利于觀察絕緣或?qū)щ娦圆畹臉悠贰?div>　　場發(fā)射電鏡配置的主要附件為X射線能譜儀，利用該附件可以在觀察樣品表面微觀形貌的同時(shí)進(jìn)行微區(qū)成分定性和半定量以及元素分布分析。針對(duì)不導(dǎo)電樣品，配置高分辨磁控離子濺射儀，可以準(zhǔn)確地為樣品噴鍍厚度均勻的導(dǎo)電膜，從而實(shí)現(xiàn)該類樣品的電鏡分析。